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基于白光干涉测试技术的改进Carré相移算法
为了减小白光相移干涉法测量物体微观形貌时产生的误差,对极值法的搜索路径进行优化后与Carré相移算法相结合,提出一种基于白光干涉......
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白光干涉
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